1997年3月,上海张江实验室。
陈思北坐在洁净室外的观察窗前,手里握着那枚老谢头送的螺丝。八级精度,表面光滑得能照见人脸。他想起老人离开北京前说的话:“机器修好了,我试了试,精度还行。”
这枚螺丝是用上海三厂那台修复的老机床车的。那台机器曾造出中国第一台双工件台光刻机原型,失败了,封存十四年,又被他们修好,现在车出了精度达标的零件——一个技术传承的闭环。
“陈总,第三次流片数据出来了。”年轻工程师小吴的声音从对讲机传来,带着压抑的激动,“良率……41%。”
陈思北猛地站起。0.6微米工艺,41%的良率,虽然离商业化还很远,但比三个月前的30%提升了整整11个百分点。更重要的是——这是在不增加预算的情况下实现的。
他冲进数据分析室。屏幕上,缺陷分布图显示着清晰的改善:光刻不均匀导致的缺陷减少了60%,蚀刻过度的缺陷减少了45%。
“我们调整了显影液的配方。”工艺组长兴奋地解释,“参考了台湾团队提供的参数范围,结合我们自己的材料特性,做了十二次小样实验,找到了最优配比。”
陈思北看着那些曲线,忽然明白了一件事:技术突破有时候不是惊天动地的发明,而是无数微小改进的累积。就像老谢头车的那枚螺丝——单看微不足道,但少了它,整台机器就转不起来。
“把数据整理出来。”他说,“我要带着去香港。”
“香港?”
“对。”陈思北握紧那枚螺丝,“既然肖总要用香港融来的钱支持研发,那我就得让投资人看到——我们的研发,值这个价。”
他连夜准备材料:不仅是最新的流片数据,还有整个工艺改进的过程记录、成本分析、未来规划。更重要的是,他做了一件之前从未做过的事——写了一份《致投资者的技术承诺书》。
承诺书很简单,只有三条:
第一,1997年底前,0.6微米工艺良率提升至50%以上;
第二,1998年中,完成0.35微米工艺实验室验证;
第三,若未能达成,本人自愿放弃年度分红及奖金。
他在末尾签上名字,日期:1997年3月12日。