第11章 技术新思路

知识偷渡者 萧嘉滔 1285 字 5个月前

1994年5月,香港铜锣湾一栋老旧唐楼的三层,悄然挂上了“深港科技交流中心”的牌子。没有开业仪式,没有媒体报道,只有每周四晚亮起的灯光,和陆续出现的、带着各地口音的技术人。

这里是李明翰的建议。四月那次会面后,他回到台湾,用了三周时间说服两位搭档——一位是他在台积电时的同事,专攻蚀刻工艺;另一位是留学美国的材料学博士,父亲是台南的小学教师。三人以“私人旅游”名义再次抵港,带来了第一批“礼物”:三箱技术资料。

“都是公开发表的论文和会议记录,”李明翰指着箱子,“但经过筛选,重点是工艺细节和失败案例——这些是课堂上学不到的。”

陈思北带着上海团队的两个年轻工程师,连夜研读。资料是繁体字和英文混杂,有些页边还有手写笔记,字迹娟秀:“此参数在Fab 2验证失败,疑为温度梯度导致”“尝试添加0.1%氩气,良率提升3%”。

“这是真正的经验。”年轻工程师小陆眼睛发亮,“我们试错了三个月没解决的问题,这里一句话就点破了。”

周四晚的沙龙,来了十二个人。除了李明翰团队和陈思北团队,还有四位香港本地工程师——两位来自港大微电子实验室,一位是英国留学回来的模拟电路设计师,一位是退休的电子厂技术主管,潮州人,讲粤语要配翻译。

开场有些拘谨。香港工程师对“九七”后的技术合作既期待又疑虑;台湾团队刻意避开政治词汇,只谈“制程”“良率”“热预算”;大陆团队则努力消化那些陌生的术语和思路。

转折点出现在一次技术争论上。

讨论到光刻胶显影环节的缺陷控制时,李明翰的搭档——那位蚀刻专家——提出一个观点:“缺陷主要来自环境微粒,建议洁净室标准提升到Class 10。”

“但我们实测发现,Class 100和Class 10的缺陷率差异只有0.3%。”陈思北团队的工艺工程师反驳,“成本却差五倍。更关键的是,我们的问题是显影液配方不均匀,和环境关系不大。”

双方拿出数据。台湾方面是台积电Fab 3的产线统计,大陆方面是上海实验室三个月的手工记录。数据对撞,争论升级。

“你们的采样频率不够。”台湾专家指着图表,“每小时取一次样,根本抓不到瞬态波动。”

“但我们用五点采样法,结合SPC控制图……”大陆工程师不服。

“停。”李明翰突然举手。他走到白板前,画了一个简单的流程图:“我们都别争对错。我问个问题:你们显影槽的搅拌器,是顶置式还是侧置式?”

“顶置。”

“转速?”

“每分钟三百转。”

李明翰笑了,转头问台湾搭档:“你记不记得,1991年我们在Fab 2遇到的那个鬼影缺陷?”